日本ULVAC爱发科多室式溅射设备ENTRON维修

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多室式溅射设备 ENTRON™系列多室溅射系统ENTRON™是连接各种工艺的新平台。作为优异模型溅射设备，实现了高生产力和节能的优化平衡，可对应下一代产品进行应用扩展。产品化模块包括先进的PVD，CVD，ALD，以便通过爱发科独有的技术进行精细布线。日本ULVAC爱发科多室式溅射设备ENTRON维修

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服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源，烘干、塑化焊接、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源，直流偏压和硬镀膜，信息技术设备(ITE)及轻工业系统、**设备。 szweike.net

维修费厂家：ASTEC（雅达）、欧美COSEL （科索）、美Comdel、AMAT(Nasdaq）、美AE外接电原(MDX、MDX II、 pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、 RFPP（RF、LF）VHF、HFV等)、美ENI外接电原（DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、意大利Singulus外接电原等。美维易科(Veeco)精密模具实验室设备

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