RF射频电源发生器不能工作的维修经验:一台赛恩RF L2000系列射频电源出现不能点火问题,远程启动机本地启动都没有射频电压输出,
经我们工程师确认是射频电源出现问题,拆开盖子发现射频管严重烧坏,更换后试机正常,今天J9品牌科技工程师跟大家讲述一下射频电源的原理
RF射频电源发生器:离子炬光源以及自激式RF电源。首要从体系的角度介绍了ICP仪器的组成及作业原理,
然后对等离子炬光源的发生条件及生成机理作了阐明,而且对其在点火过程中表现的负载特性作了剖析,
最后从ICP仪器的剖析功能方面阐明晰它对RF电源的规划要求,清晰RF电源的规划指标。
RF射频电源发生器:自激式RF电源的完结原理。依照信号流向首要介绍了作为盯梢等离子炬特性的振荡源——锁相环的原理,
分别对其间的鉴相器、环路滤波器、压控振荡器和驱动电路等做了具体介绍。然后介绍了高频功率放大器的原理,确定了首要元件参数,
并介绍了适用于自激式RF电源的电路结构。最后对阻抗匹配原理作了介绍,并要点介绍了会集参数元件匹配网络。
第四部分具体介绍了本文所做的规划作业,包含软硬件规划。这部分仍然是按信号流向作阐明,根据自激式RF电源的结构特色,针对这几部分选择适宜的电路结构、
元件参数等规划完结锁相环路、高效率E类推挽功率放大电路以及阻抗匹配网络。除此之外,还包含电路中的首要信号采样与检测、热规划、
电磁兼容规划以及软件部分的规划阐明。
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